Le nouvel équipement de lithographie DUV par immersion domestique entre en production de petite série ; cette année, la première série livrée en produit 5 machines.

PANews 27 juillet, d’après The Information, une société chinoise soutenue par le capital public a commencé une production en petite série de machines de lithographie DUV immersives domestiques. Cette année, elle prévoit d’expédier environ 5 machines, et d’atteindre environ 20 machines en 2027. Les premiers équipements seront livrés à Semiconductor Manufacturing International Corporation (SMIC), à HuaHong Semiconductor et à CXMT. Les fonderies devront valider la précision, la stabilité et l’intégration avec les lignes de production existantes ; le processus pourrait durer plusieurs mois, voire davantage. Le média indique que la majorité des composants de l’équipement ont déjà été localisés, mais que certains composants clés dépendent encore du Japon. Dans l’ensemble, les performances et la qualité de fabrication restent inférieures à celles d’ASML. Or, en 2025, ASML a livré environ 131 machines de lithographie DUV immersives sur une seule année ; l’écart demeure donc important avant une substitution à grande échelle par des équipements domestiques.